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宝鸡市福生钰金属材料公司生产钛靶!

作者:admin 发布日期: 2019-04-07 二维码分享

宝鸡市福生钰金属材料公司生产钛靶。纯度是靶材的主要性能指标之一,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中,对靶材的纯度要求也不尽相同。例如,随着微电子行业的迅速发展,硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求,而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。

陕西钛靶厂家

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